【研究领域】：新能源与节能环保

【专利号】：CN201010619896.3

【专利类型】：发明

【发明(设计)人】：[邢卫红, 李福建, 熊志远, 仲兆祥]

【申请(专利权)人】：南京工业大学, 南京久吾石化工程有限公司

【申请日】：2010.12.31

【公告日】：2013.03.13

本发明涉及一种硅片切削废液的资源化处理方法，其步骤是：将硅片切削废液经过降低粘度处理后，泵入一体式膜过滤装置，废液中的固体物质被截留并提浓，然后经过离心分级，重组分浓缩液经清洗、纯化、干燥，获得磨料级碳化硅颗粒，轻组分稀溶液经错流式膜过滤浓缩得到提取高纯硅的原料；膜过滤渗透液经纳滤或加添加剂结合微滤或超滤除去金属离子和色素等杂质，再脱水获得可重复利用的切削液分散粘结剂，实现切削废液中切削磨料、切削分散粘结剂和切削过程流入硅粉的全回收。该方法和现有工艺相比，具有工艺先进，流程短，操作简单，能耗低和回收效率高等优点，并易于放大，适用于工业化处理晶片切削废液。