【研究领域】：化工新材料

【专利号】：CN201210078465.X

【专利类型】：发明

【发明(设计)人】：[汪勇, 李逢彬, 邢卫红, 范益群]

【申请(专利权)人】：南京工业大学

【申请日】：2012.03.22

【公告日】：2014.02.26

本发明涉及一种灵敏的湿度传感器材料的制备方法。该方法利用溶胀介孔化的嵌段共聚物为模板，经原子层沉积(ALD)技术制备三维的介孔氧化物薄膜，从而制备出具有高灵敏度的湿度传感器。主要包括以下具体步骤：(1)两亲性嵌段共聚物经微相分离、选择性溶剂溶胀后，制备出具有三维网络状孔结构的有机模板；(2)将溶胀介孔化的有机模板放在反应腔体中，依次往反应室中通入金属源前驱体、氮气、水蒸气、氧化前驱体；(3)通过调节沉积循环次数，精确控制沉积层的厚度；(4)将ALD沉积后的有机模板，在高温下煅烧，以去除有机模板，制备三维的介孔氧化物薄膜。本发明工艺简单，过程高度可控。