【研究领域】：膜材料与膜技术

【专利号】：CN201410015993.X

【专利类型】：发明

【发明(设计)人】：[殷晨波, 唐光大, 徐海涵, 杨柳, 吴礼峰]

【申请(专利权)人】：南京工业大学

【申请日】：2014.01.14

【公告日】：2015.09.16

本发明提供了一种斜角入射沉积系统，包括圆柱状的腔体，腔体的上方设有顶盖，腔体内由下至上依次设有电子束蒸发器、环形液态氮存储装置以及样品操作装置；所述电子束蒸发器由腔体外伸入腔体内，电子束蒸发器位于腔体内的端部上设置蒸发源材料；所述环形液态氮存储装置用于冷却操作装置，环形液态氮存储装置上设有液氮进管和液氮出管，液氮进管和液氮出管分别延伸出顶盖；环形液态氮存储装置中部设有气动快门，用于控制蒸发源材料与样品操作装置之间的通路。本发明两个轴向旋转运动以及沉积高度的调整，形成不同沉积角度，得到了多种形态的微纳米薄膜结构，很好解决了光学和电子刻蚀形成微纳米薄膜费用高、适用材料有限、制作时间较长的缺点。