【研究领域】：化工新材料

【专利号】：CN201410729932.X

【专利类型】：发明

【发明(设计)人】：[李洪涛, 刘燕婕, 蒋百铃, 施文彦, 高茂松]

【申请(专利权)人】：南京工业大学

【申请日】：2014.12.04

【公告日】：2017.03.22

一种镀料粒子离化率的检测方法及装置，涉及一种物理气相沉积(PVD)中的离子镀技术，通过气体放电电离产生的离子轰击靶材表面，使靶材发生溅射，该检测装置原理就是构建一个匀强磁场环境，使得镀料粒子中的离子进入磁场后，在洛伦兹力作用下发生偏转，带电粒子沉积在一侧样片上，导致左右膜层厚度产生差异从而计算离化率。本发明成本低廉，安装方便，稳定性好，测量准确。