【研究领域】：化工新材料

【专利号】：CN201410229816.1

【专利类型】：发明

【发明(设计)人】：[章伟, 高志强, 王瑞, 秦薇薇, 李涛, 许泳, 杨楠,

【申请(专利权)人】：南京益得冠电子科技有限公司, 南京工业大学

【申请日】：2014.05.28

【公告日】：2017.05.10

一种大面积ZnO纳微发电机的制造方法，在衬底上沉积Au电极；旋涂光刻胶，形成Y方向的光刻胶纳微米线结构；通过离子束刻蚀刻蚀掉没有光刻胶保护的Au电极材料，然后沉积硬掩膜材料氧化铝，刻蚀掉侧壁的氧化铝材料，以暴露光刻胶；用丙酮剥离掉光刻胶及上面的Al2O3，利用溶胶凝胶法沉积ZnO薄膜；用离子束刻蚀和丙酮进行光刻胶剥离形成ZnO纳米线；旋涂光刻胶，经曝光和成型后露出两端的ZnO纳米线；利用电子束蒸发沉积Pt电极；用丙酮剥离掉光刻胶，刻蚀去除Al2O3，压电纳米发电机结构；暴露压电纳米发电机到振动源，产生压电转换和纳微压电发电。达到低成本、高机械能-电能转化纳米发电机的大面积可控生产和加工。