【研究领域】：高端装备与智能制造

【专利号】：CN201720947694.9

【专利类型】：实用新型

【发明(设计)人】：[杭晓春, 尤聪, 陈志宽, 张宏海, 孔令杰, 吴克松,

【申请(专利权)人】：南京工业大学, 合肥欧莱迪光电技术有限公司

【申请日】：2017.08.01

【公告日】：2018.04.03

本实用新型公开了一种直通式实验级升华提纯设备，包括真空泵组、真空控制器和提纯单元，提纯单元包括支架，以及位于支架上的加热装置、升华装置、密封装置、仪表、隔离过滤装置、集成控制触摸屏、检测装置、真空泵组和液氮冷阱；加热装置固定连接在升华装置的外侧；密封装置与升华装置固定连接；仪表和真空控制器固定连接在支架上；隔离过滤装置的一端与升华装置连接，隔离过滤装置的另一端与液氮冷阱的一端连接，液氮冷阱的另一端与真空泵组的真空端连接；升华装置、隔离过滤装置和真空泵组的真空端为直通式线性串联结构。该设备制造成本低，真空系统控制准确稳定，且在高真空下体系下内部实现真空场、热场均匀梯度分布，实现微平衡。