【研究领域】：高端装备与智能制造

【专利号】：CN201610627592.9

【专利类型】：发明

【发明(设计)人】：[方志, 张波]

【申请(专利权)人】：南京工业大学

【申请日】：2016.08.03

【公告日】：2018.03.30

本发明是一种大面积低温等离子体发生装置，其结构包括控制电路、高压电源、阻抗匹配器、绝缘手柄、高压母接头、高压电极、待处理物；其中，高压电源的输出口负极接地，高压电源的输出口正极与阻抗匹配器的输入端相连；阻抗匹配器的输出端通过高压导线与绝缘手柄内部的高压母接头的一端相连；高压母接头的另一端与高压电极相连；高压电源和市电之间接有控制电路。优点：1、整体装置结构紧凑，装置成本可控，故障率较低，工作稳定性高，操作灵活、安全；2、能满足不同的处理需求，实现大面积的等离子体处理；3、能在室内开放环境中产生的低温等离子体。