【研究领域】：化工新材料

【专利号】：CN201610280078.2

【专利类型】：发明

【发明(设计)人】：[管自生, 李军, 沈志妹, 陆春华, 许仲梓]

【申请(专利权)人】：南京工业大学

【申请日】：2016.04.29

【公告日】：2018.07.27

本发明公开了一种金刚线切割多晶硅片的制绒方法，包括如下步骤：首先将金刚线切割多晶硅片浸入碱溶液和碱反应控制剂的混合水溶液中，去除硅片表面损伤层后，浸入含有无机离子和有机分子的氢氟酸溶液中反应，其次采用氢氟酸及双氧水的混合溶液对多晶硅表面进行预处理，同时加入造孔调节剂，最后采用氢氟酸及硝酸混合酸溶液对硅片表面进行制绒，即可。优点为本发明制得的多晶硅绒面片不仅绒面均匀、色差小、刻蚀深度一致，且其具有低表面反射率和较高的转换效率，且该制备方法简单易行，试剂成本较低，反应条件易于实现，与现有工业化生产工序兼容性较好，适合于推广应用。